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Gds2Mesh: 3D Device Model Construction

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Gds2Mesh: 3D Device Model Construction
 

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Gds2Mesh: 3D Device Model Construction

GDS2Mesh - 3D Device Model Construction

Part No: MPCOG-GDS2Mesh

Overview

Gds2Mesh 是一個三維 TCAD 模型構建工具,它可以導入 GDSII 版圖,然後結合預定義、可定製的工藝規則來生成三維器件模型。

Features

主要功能:

  • 內嵌三維 CSG 引擎
  • 版圖二維多邊形拉伸生成三維結構
  • GDSII 文件二維多邊形圖形提取,或者腳本生成、調整多邊形圖形
  • 二維圖形和三維體的布爾操作
  • 腳本定製的工藝規則
  • Python 編程接口
  • 掩模板定義摻雜分佈區域
  • 高質量四面體網格
  • 常用數據格式網格訊息導出

Description

0.13um 工藝規則文件首先從版圖中提取各個層次的幾何訊息,然後通過拉伸、以及其他的幾何操作,來構造器件的三維幾何體。摻雜分佈的區域也需要基於版圖訊息來確定。

CSG 引擎可以生成傾斜的 STI 側牆、圓滑的 STI 邊角、鳥嘴、以及其它精細結構。網格是自動生成的,溝道、結附近的網格是細化的以保證模擬的準確性。生成的器件結構可以直接導入 Genius 執行器件模擬。

生成 GDML 文件

Gds2Mesh 還可以生成 GDML 格式的文件,然後導入VisualParticle/GSeat執行粒子軌跡模擬。GDML 是由Geant4定義的一種標準幾何格式。

 

 

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